Хироо Киношита, EUV и "Скайнет". (Экопанорама №21 от 26.12.2025)
Исполняется 40 лет, как японский инженер Хироо Киношита из NTT собрал первую установку EUV. Она использовала для изготовления чипов методом фотолитографии свет в экстремальном диапазоне длины волны (13,5 нм, то есть почти рентгеновское излучение). Это считалось невозможным и вывело микроэлектронику на предел миниатюризации. Для создания рисунка методом EUV в условиях стерильности и повышенной чистоты воздуха используется лазерная импульсная плазма капель олова (Sn), отражающая фотомаска и экспонирование подложки, покрытой фоторезистом...

