Три кита анализа отказов:Thermo, EMMI, OBIRCH
Сергей Максимов В мире микроэлектроники поиск причины отказа чипа размером с ноготь – это задача, сравнимая с поиском иголки в стоге сена. Когда электрические тесты указывают лишь на аномалию (например, высокий ток утечки или обрыв цепи), на первый план выходят три ключевых физических метода анализа: термография (Thermo), эмиссионная микроскопия (EMMI) и метод детектирования изменения сопротивления, индуцированного лазерным излучением (OBIRCH). Основная задача – быстро и точно перейти от симптоматики к точным координатам физического дефекта...