Коэффициенты подвижности и диффузии определяются из функции распределения электронов по энергиям, записанной с учетом присутствия ВЧ-поля.Атомная энергия 2.0
Таким образом, построена математическая модель, позволяющая рассчитывать основные характеристики разряда и струи, определять параметры слоя положительного заряда.Атомная энергия 2.0
В результате установлено, что при вышеуказанных режимах энергия ионов может варьироваться от 30 до 100 эВ, а плотность ионного тока от 0.5 до 15 А⸱м–2.Атомная энергия 2.0
Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда (проект № 19-71-10055).Атомная энергия 2.0