Инженеры компании смогли повысить мощность источника света до 1000 ватт, что позволит обрабатывать до 330 кремниевых пластин в час и существенно снизить стоимость производства передовых процессоров.3DNews
Однако, чтобы получить источник мощностью 1000 Вт, ASML пришлось удвоить количество капель олова (до 100 000 в секунду), а затем создавать две последовательности лазерных импульсов вместо одной.iXBT.com
Современные EUV-сканеры ASML генерируют излучение, воздействуя на крошечные капли олова серией импульсов CO?- лазера.iXBT.com
Масштаб проделанной работы прокомментировал профессор Университета штата Колорадо Хорхе Х. Рокка (Jorge J. Rocca), который назвал достижение киловаттной мощности удивительным результатом, требующим глубокого понимания множества технологий.3DNews