ASML представила литографический сканер Twinscan XT:260 для 3D-упаковки чипов

Новая машина обеспечивает четырёхкратное увеличение производительности по сравнению с существующими решениями.RuTab.net
Производительность системы достигает 270 кремниевых пластин в час, что примерно в четыре раза выше существующих решений такого типа.3DNews
В сравнении с традиционными степперами Canon и ASML PAS 5500, новый сканер предлагает не только большую производительность, но и более высокую точность, что критично для массового внедрения 3D-упаковки.NaAvtotrasse.ru
По словам руководства ASML, сканер Twinscan XT:260 является лишь первой моделью в целом семействе профильного литографического оборудования.3DNews
Эта новость в СМИ
Больше — у авторов Дзена