На 2027 г. запланирована разработка фотошаблонов на 180 нм и начало выпуска 350 нм, в 2028 г. в плане разработка 90 нм и выпуск 250 нм, в 2029 г. — выпуск 180 и 90 нм.CNews
В Зеленограде в 2026 г. начнут массовое производство фотошаблонов Площадь производственного здания в Зеленограде составит 14,5 тыс. кв м. Производственная мощность предприятия должна составить около 10 тыс. заготовок ежегодно, следует из документа.CNews
Цепочка производителей НТЦ ФШ будет работать в технологической цепочке, которую возглавляет компания «Лассард», производитель синтетического кварцевого стекла.CNews
НТЦ ФШ будет заниматься производством фотошаблонных заготовок для длины волны 248 и 193 нм и производством фотошаблонов для технологий уровня 180-28 нм.CNews