Нанопечатная литография (NIL) дешевле фотолитографии в ультрафиолетовом и дальнем ультрафиолетовом диапазоне, с помощью которой в настоящее время изготавливаются самые миниатюрные микросхемы масштаба 7 нм и меньше. — Открытые системы.