Наличие проблем вокруг самой сложной машины, созданной человеком, дело естественное. Примечательно, что для потенциальных заказчиков на первом месте стоят проблемы не столько технического, сколько административно-финансового плана. И действительно, стоимость одного EUV (экстремальный ультрафиолет) фотолитографа измеряется сотнями миллионов долларов, а для наиболее «продвинутых» машин с высокой числовой апертурой так и вообще стремится к полумиллиарду. Прямо скажем, далеко не каждый производитель...