Изображение, сформированное идеальной линзой объектива без аберраций в промежуточной плоскости изображения микроскопа, представляет собой дифракционную картину, создаваемую сферическими волнами, выходящими из задней апертуры и сходящимися в точке фокусировки. В этом руководстве исследуется влияние числовой апертуры объектива на разрешение концентрических ярких колец, присутствующих в дифракционной картине, обычно известных как диски Эйри. Узор Эйри, сформированный в промежуточной плоскости изображения...

TSMC решила использовать «плёночные фотошаблоны» вместо сверхдорогих EUV-установок с высокой числовой апертурой для продвинутых процессов A14 и A10. Такой подход позволяет обходиться без дорогих машин Hi-NA и минимизирует риск загрязнений, хотя требует «проб и ошибок» для стабильного производства...