Изображение, сформированное идеальной линзой объектива без аберраций в промежуточной плоскости изображения микроскопа, представляет собой дифракционную картину, создаваемую сферическими волнами, выходящими из задней апертуры и сходящимися в точке фокусировки. В этом руководстве исследуется влияние числовой апертуры объектива на разрешение концентрических ярких колец, присутствующих в дифракционной картине, обычно известных как диски Эйри. Узор Эйри, сформированный в промежуточной плоскости изображения...

Применение литографических EUV-сканеров с высоким значением числовой апертуры (High-NA) активнее всего освещается в контексте выпуска интегральных микросхем в целом, а для сферы производства чипов памяти считается не столь актуальным, но это не значит, что подобная миграция оборудования не происходит. SK hynix, например, недавно отчиталась об установке первого сканера ASML TwinScan EXE:5200B, который поможет ей выпускать передовые чипы памяти в будущем. Первый экземпляр этой дорогостоящей литографической системы ASML был установлен на предприятии M16 в южнокорейском Ичхоне...