В отличие от фотолитографов или установок травления, такая техника не на слуху, однако без неё не обходится ни одна полупроводниковая фабрика. А уж количеству, в котором устанавливаются эти машины, могут позавидовать любые другие установки. К тому же без помощи этих машин не обходятся ни установки травления, ни установки осаждения, ни сами фотолитографы. Речь идёт о загрузочных портах (системах обработки полупроводниковых пластин). Каждый человек, интересующийся полупроводниковым производством, знает,...