В прошлой статье я описал характеристики первого российского литографа на 350 нм, который уже построен и тестируется в Зеленограде. Но одновременно с этим первым литографом разрабатывается и следующий, на 130 нм. Его разработка и строительство опытного образца завершится в 2026-м году. Если первый литограф на 350 нм, по сути, является, скорее всего, переработкой белорусского литографа ЭМ-5884, то следующий литограф — это уже глубокая модернизация с добавлением новых источников излучения — лазеров с длинами волн 193 и 248 нм...

Что такое технологический процесс? На что влияет? Какой лучше? Ответы на сложные вопросы простым языком.