Масштабное управление, обеспечиваемое сканирующими зондовыми микроскопами, привело к разработке широкого спектра методов структурирования на основе сканирующих зондов. Некоторые из этих методов продемонстрировали высокую степень надежности и способности к структурированию, которые не имеют аналогов в других литографических технологиях. Однако ограниченная пропускная способность сканирующей зондовой литографии не позволяет использовать ее в технологических приложениях. Прогресс в нанотехнологиях зависит от способности изготавливать, размещать и связывать наноструктуры нанометрового масштаба...

Наноимпринтная литография (НИЛ) является одной из наиболее перспективных технологий производства дисплеев дополненной реальности в крупносерийном производстве.