Напыление является одной из ведущих технологий получения тонкопленочных материалов. Он использует ионы, генерируемые источником ионов, для ускорения агрегации в вакууме. Затем формируется высокоскоростной поток ионного пучка, бомбардирующий поверхность твердого тела, и ион и атомы на поверхности твердого тела обмениваются кинетической энергией. Атомы на поверхности твердого тела отделяются от твердого тела и осаждаются на поверхности подложки. Существует три технологии распыления: распыление постоянным током, напыление покрытия и магнетронное распыление постоянным током. Распыление постоянным...