Локализация дефектов часто является критической частью процесса анализа неисправностей. Оптические методы являются предпочтительным инструментом, так как инвазивность сведена к минимуму, а механическая обработка образца не требует многократной обработки. Среди этих методов фотоэмиссионная микроскопия используется уже почти тридцать лет. Около полутора десятилетий назад более глубокое понимание физических явлений, связанных с этим процессом, и совершенствование аппаратуры обнаружения и сбора данных позволили регистрировать положение и время излучаемых фотонов при переключении транзисторов...

Введение: данная статья является третьей в серии статей по использованию систем координат (СК, далее) в инфраструктуре продуктов Autodesk. Первая фундаментальная была посвящена вопросу состава библиотеки,...