Российская микроэлектроника постепенно закрывает два особенно зависимых от импорта участка производства: технологическое оборудование и специальные химические материалы. На выставке «Иннопром-2026» НИИ молекулярной электроники показал установку для работы с пластинами и пятнадцать образцов химии, необходимой при выпуске интегральных микросхем. Главным экспонатом стал макет кластерной установки, которая совмещает плазмохимическое травление и плазмохимическое осаждение. Оборудование рассчитано на технологические нормы вплоть до 65 нм...