Intel Foundry первой в мире запустила массовое производство и поставки логических чипов, созданных с помощью литографии в жёстком ультрафиолете с высокой числовой апертурой (High NA EUV) от компании ASML. Индустрия сделала шаг к коммерческому внедрению микросхем нового поколения. Речь о партии процессоров Intel Core Ultra Series 3 (Panther Lake). Чипсеты базируются на техпроцессе Intel 18A. Как отмечают в компании, отдельные слои этих чипов прошли двойную сертификацию для платформы ASML High NA EUV на заводе в Орегоне...

Intel впервые начала использовать литографию, использующую экстремальный ультрафиолет High-NA EUV (High Numerical Aperture Extreme Ultraviolet) в массовом производстве коммерческих процессоров. Новая технология уже применяется при выпуске отдельных слоёв чипов Panther Lake — процессоров Intel Core Ultra Series 3. До этого High-NA EUV использовалась только для исследований и тестовых пластин. В основе технологии лежат новые литографические установки ASML EXE с числовой апертурой 0,55 вместо 0,33 у современных систем NXE. Более высокая числовая апертура позволяет формировать более мелкие элементы микросхем: по данным ASML, разрешение увеличилось с 13 до 8 нм...