Кремниевая пластина на полупроводниковой фабрике проходит через десятки вакуумных установок: травление, ионную имплантацию, осаждение тонких плёнок, напыление металлов. В каждой из них пластину нужно зафиксировать — неподвижно, точно, без малейшего смещения. При этом обычный вакуумный зажим (присоска) не работает: внутри установки уже вакуум, и перепада давления для удержания нет. Механический прижим повреждает поверхность и вносит загрязнения. Единственное решение — удержание электростатическим полем: пластина притягивается к столу без физического зажима, без повреждений, без частиц...