Современная тенденция к миниатюризации оборудования привела к безнадежному устареванию механических датчиков: уменьшение их размера в какой-то момент достигло инструментального предела. А ненадежность узла сопряжения с электроникой наложила ограничения на использование в сложных условиях: при тряске, вибрации, больших перегрузках. Появление MEMS-технологий позволило устранить эти недостатки и получить устройства нового типа. Что такое MEMS MEMS (или МЭМС) — это микроэлектромеханическая система. Все...