Микроэлектромеханические системы (МЭМС) сенсоры революционизировали индустрию беспилотных летательных аппаратов (БПЛА), предлагая компактные, легкие и экономически выгодные решения для обнаружения. Эти датчики играют важную роль в определении положения, ориентации и навигации БПЛА. МЭМС-датчики широко используются в БПЛА для различных приложений, включая акселерометры, гироскопы, датчики давления и магнитометры. В данной статье приведено подробное описание технологии производства микроэлектромеханических (МЭМС) датчиков для БПЛА, с акцентом на процессы проектирования, изготовления и упаковки...