Современная тенденция к миниатюризации оборудования привела к безнадежному устареванию механических датчиков: уменьшение их размера в какой-то момент достигло инструментального предела. А ненадежность узла сопряжения с электроникой наложила ограничения на использование в сложных условиях: при тряске, вибрации, больших перегрузках. Появление MEMS-технологий позволило устранить эти недостатки и получить устройства нового типа. Что такое MEMS MEMS (или МЭМС) — это микроэлектромеханическая система. Все...

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) сенсоры революционизировали индустрию беспилотных летательных аппаратов (БПЛА), предлагая компактные, легкие и экономически выгодные решения для обнаружения. Эти датчики играют важную роль в определении положения, ориентации и навигации БПЛА. МЭМС-датчики широко используются в БПЛА для различных приложений, включая акселерометры, гироскопы, датчики давления и магнитометры. В данной статье приведено подробное описание технологии производства микроэлектромеханических (МЭМС) датчиков для БПЛА, с акцентом на процессы проектирования, изготовления и упаковки...