Волоконно-оптический датчик из карбида кремния на основе прямого соединения пластин для измерения давления при высоких температу
В этой статье представлен волоконно-оптический датчик давления Фабри-Перо (FP), полностью состоящий из SiC, основанный на технологии прямого гидрофильного соединения для приложений в суровых условиях. Обсуждаются принцип работы, изготовление, интерфейсные характеристики и испытание на давление предлагаемого датчика давления, полностью состоящего из SiC. Полость FP образована путем герметичного прямого соединения двухслойных пластин SiC, включая утоненную диафрагму SiC и пластину SiC с протравленной полостью...