Как работает магнетронное распыление?
Небольшое введение В данной статье мы рассмотрим основные физические принципы магнетронного распыления, внешний вид установки и преимущества применения данного процесса. Рабочая установка Думаю, в интернете вы сможете легко найти фотографии различных установок, все они будут выглядет по-разному, однако основные элементы будут одни и те же. Установка, на которой поработала я, выглядела примерно так: Я не буду сразу подробно описывать, что и как в ней работает, в этом разберемся по ходу. Физика процесса Ионизация Процесс распыления возможен благодаря ионизации рабочего газа...