Контролируемые среды в производстве микроэлектронных компонентов
Производство полупроводниковых изделий представляет собой высокотехнологичный процесс, в котором особое место занимает система газового анализа. Специализированные газы выступают фундаментальным компонентом производственного цикла и применяются во всем спектре технологических операций. Использование высокочистых газовых сред является обязательным условием для достижения требуемой точности дозирования, однородности наносимых слоев и минимизации загрязнений, что определяет качество готовой продукции и надежность компонентной базы...