12,6 тыс подписчиков

📀 Продукция российского электронного машиностроения произвела самый настоящий фурор на недавно прошедшей 28-ой Международной выставке электроники ExpoElectronica (14-16 апреля 2026, г. Москва).

📀 Особо отличился зеленоградский НИИ точного машиностроения (НИИТМ), представивший сразу две ключевые машины современного полупроводникового производства: установку плазмохимического осаждения диэлектрических слоев на кремниевых пластинах «Изофаз-Д» и установку быстрого термического отжига полупроводниковых пластин БТО ТМ 200-01.

📀 Большой интерес также вызвал макет кластерной установки плазмохимического травления, способную обрабатывать пластины диаметром 300 и 200 мм. Вероятно, учитывая весьма внушительные габариты этой машины, на этот раз решили ограничиться макетом.

📀 «Изофаз-Д» - установка автоматическая. Осаждение диэлектрических слоёв осуществляется в рабочей камере в условиях глубокого вакуума: внутрь подаются соответствующие газы, происходит нагрев, запускаются реакции. БТО ТМ 200-01 осуществляет отжиг и активацию примесей после ионного легирования. Обе установки способны обрабатывать полупроводниковые пластины диаметром до 200 мм.

📀 Отрадно, что в стране создаётся именно комплесное электронное машиностроение: от фотолитографов до установок нанесения фоторезиста и от установок травления до машин осаждения.

📷 На фото: справа — установка БТО ТМ 200-01, слева -— макет кластерной установки, на зажнем плане — установка «Изофаз-Д». Изображение: пресс-служба niitm.ru

📀 Продукция российского электронного машиностроения произвела самый настоящий фурор на недавно прошедшей 28-ой Международной выставке электроники ExpoElectronica (14-16 апреля 2026, г. Москва).

1 минута

23 апреля

314 читали