12,2 тыс подписчиков
📀 Борьба за нанометры в российском электронном машиностроении идёт полным ходом. Впрочем, как и борьба за способность обрабатывать полупроводниковые пластины с большим диаметром.
📀 И это неудивительно: чем больше диаметр подложки, тем больше на ней микросхем, и тем экономичнее производство. Ну а малые нанометры — путь к производительности и энергоэффективности полупроводников.
📀 Ярким примером «победы над нанометрами» стало создание в конце прошлого года кластерных установок для плазмо-химического травления и плазмо-химического осаждения совместными усилиями НИИ точного машиностроения (НИИТМ) и НИИ молекулярной электроники (НИИМЭ).
📀 Примечательно, что зеленоградским институтам удалось создать машину, работающую не много ни мало по рекордным для нашей страны техпроцессам (до 65 нм), а также обрабатывать пластины с максимальным (по мировым меркам) диаметром 300 мм. Впрочем, и с 200 мм пластинами это оборудование вполне справляется.
📀 На сегодняшний день максимальный диаметр пластин, с которыми работает наш ведущий полупроводниковый производитель, зеленоградский «Микрон», составляет 200 мм, а многие другие предприятия работают с пластинами ещё меньших размеров.
📀 Так что очевидно, что зеленоградцы сделали серьёзную заявку на будущее. Но возникает вопрос: а что с фотолитографами? Ведь без этого ключевого этапа полупроводникового производства добраться до этапов травления и осаждения просто не получится.
📀 Ситуация следующая: в прошлом году создана 350 нм машина, в этом году ожидается 130 нм, а вскоре после неё и 90 нм. Очевидно, что 65 нм фотолитографическая техника завтра ещё не появится. Ну так и техника, прямо скажем, наисложнейшая.
📀 С другой стороны, это нормально, когда сроки разработки одного вида оборудования опережают другие. Главное, чтобы вся необходимая для полупроводникового производства техника в будущем встретилась на новых прекрасных фабриках.
📷 На фото: новейшая кластерная установка плазмо-химического осаждения ПХО ТМ-300 (пластины 200 и 300 мм). Изображение: niitm.ru
1 минута
26 февраля
314 читали