7889 подписчиков
Сотрудники Санкт-Петербургского политехнического университета огласили информацию о разработке нанолитографа без применения маски
Ученые Санкт-Петербургского Политехнического университета (СПбПУ) анонсировали разработку двух передовых установок, которые могут существенно укрепить позиции России в сфере микроэлектроники и обеспечить ей суверенитет в этой области. Эти установки включают в себя безмасочную нанолитографию и установку для плазмохимического травления кремния.
Безмасочная нанолитография, разработанная в СПбПУ, позволяет создавать изображения на кремниевых подложках без необходимости использовать маски, что гораздо удобнее и экономичнее по сравнению с традиционными литографическими методами, требующими применения шаблонов. Для этой полностью автоматизированной системы уже разработано соответствующее программное обеспечение.
С другой стороны, установка для плазмохимического травления не только используется для формирования наноструктур, но также предназначена для создания кремниевых мембран. Руководитель проекта утверждает, что эти мембраны превосходят своих аналогов, изготовленных с использованием лазерного или жидкостного травления, по чувствительности и надежности.
Безмасочная нанолитография и плазмохимическое травление могут быть применены в различных областях. Например, при разработке радиолокационного оборудования они могут значительно увеличить срок его службы в 20 раз, а в случае производства солнечных панелей - уменьшить их размеры и вес, при этом обеспечив работу в условиях пасмурной погоды без потери эффективности.
Согласно информации, ученые СПбПУ планируют продолжить совершенствование своих установок и в скором времени оснастить их машинным обучением, а также развивать свои наработки в области силовой электроники.
1 минута
4 октября 2023