В России создадут ключевое оборудование в микроэлектронике

В России изготовят ключевое оборудование

Россия достраивает собственную производственную цепочку в микроэлектронике - от готовых чипов до оборудования, на котором их делают. Минпромторг направит более 1,43 миллиарда рублей на разработку отечественной автоматизированной установки жидкостной химической обработки кремниевых пластин диаметром до 200 миллиметров. Информация об этом была опубликована на сайте госзакупок.

Установка - одно из ключевых звеньев производства микросхем. Она должна автоматически выполнять травление, очистку и сушку пластин диаметром 100, 150 и 200 миллиметров, обрабатывать не менее 100 пластин за цикл и работать минимум с восемью реагентами. Пластины 150 и 200 миллиметров - рабочий формат так называемой зрелой микроэлектроники, на которой держится выпуск силовых приборов, микроконтроллеров и чипов для промышленности и транспорта. Принципиально важно, что ключевые элементы установки должны быть российского производства, а импортные комплектующие допускаются лишь по согласованию с заказчиком. Работы предстоит завершить до 30 ноября 2029 года.

Зачем это нужно? Жидкостная химическая обработка - одна из самых частых операций в производстве чипов: между нанесением слоев пластину десятки раз очищают от мельчайших загрязнений и протравливают, формируя нужный рисунок схемы. На микронном уровне даже единичные частицы или остатки реагентов выводят будущую микросхему из строя, поэтому именно от качества очистки и сушки во многом зависит доля годных кристаллов. Автоматизированная установка сама выбирает один из восьми реагентов, заменяет ручные операции и позволяет вести обработку поточно, с предсказуемым качеством и меньшим расходом дорогой химии.

Жидкостная химическая обработка - частая операция в производстве чипов

Проект закрывает самое уязвимое место отрасли - производственное оборудование, которое годами оставалось критически зависимым от импорта. Именно технологические установки перекрыть санкциями проще всего, поэтому собственный станок для химобработки пластин - это шаг к производству полного цикла, устойчивому к внешним ограничениям.

Читайте "Российскую газету" в Max - подписаться

Инвестиция вполне вписывается в картину уверенного роста: за пять лет выпуск микроэлектроники в России удвоился, достигнув 3,4 триллиона рублей, а воронежский НИИЭТ недавно выпустил миллионный микроконтроллер. В 2026 году ожидается собственный литограф для топологии 130 нанометров, а производственные мощности к 2030 году планируется увеличить более чем в восемь раз.

Читайте также:

Эксперт Живов: Мегакорпорация может стать скелетом отрасли микроэлектроники, если вокруг нее вырастет плоть из частных компаний

Поддержку отрасли власти выстраивают в систему. В этом году стало известно о планах по созданию "Объединенной микроэлектронной компании". До 2030 года в нее планируется вложить примерно триллион рублей. На этом фоне заказ на отечественное оборудование вроде установки химобработки выглядит частью единой стратегии.

Государство считает данное направление стратегическим приоритетом. Выступая на ПМЭФ-2026, глава Минпромторга России Антон Алиханов отнес зрелую микроэлектронику к зоне технологической автономии - отраслям, где независимость важнее лидерства. "Без собственной промышленности страна теряет суверенитет", - подчеркнул министр.

Финансирование установки химобработки - небольшой, но показательный штрих: импортозамещение в микроэлектронике дошло до уровня станков и реагентов. И, судя по темпу, это уже не разовые победы, а системное движение вверх.

Автор: Евгения Мамонова