Добавить в корзинуПозвонить
Найти в Дзене
Фотолитограф

ASML vs TSMC: кто от кого больше зависит?

Две самые яркие звезды на современном полупроводниковом небосводе, крупнейший в мире производитель микросхем тайваньская TSMC и доминант в области фотолитографов, ключевого оборудования полупроводниковых фабрик, нидерландская ASML, уже несколько десятилетий являются ближайшими партнёрами в самой высокотехнологической отрасли мировой экономики, полупроводниковой промышленности. Надо сказать, что на заре их сотрудничества, в 80-х — 90-х годах прошлого века (обе компании были основаны в середине 80-х) ASML зависела от TSMC гораздо сильнее, чем TSMC зависела от голландской компании. Ведь ASML в то время по части фотолитографов делала только первые шаги. Это было время доминирования японских производителей фотолитографической техники, Nikon и Canon. И то, что TSMC для своих первых фабрик заказала технику производства ASML, стало большим подспорьем для нидерландского производителя. Не в последнюю очередь именно благодаря сотрудничеству с TSMC, которая в короткий срок сумела стать крупнейшим

Две самые яркие звезды на современном полупроводниковом небосводе, крупнейший в мире производитель микросхем тайваньская TSMC и доминант в области фотолитографов, ключевого оборудования полупроводниковых фабрик, нидерландская ASML, уже несколько десятилетий являются ближайшими партнёрами в самой высокотехнологической отрасли мировой экономики, полупроводниковой промышленности.

Фабрика ASML Wilton в США. Изображение: ©ASML
Фабрика ASML Wilton в США. Изображение: ©ASML

Надо сказать, что на заре их сотрудничества, в 80-х — 90-х годах прошлого века (обе компании были основаны в середине 80-х) ASML зависела от TSMC гораздо сильнее, чем TSMC зависела от голландской компании. Ведь ASML в то время по части фотолитографов делала только первые шаги. Это было время доминирования японских производителей фотолитографической техники, Nikon и Canon. И то, что TSMC для своих первых фабрик заказала технику производства ASML, стало большим подспорьем для нидерландского производителя.

Не в последнюю очередь именно благодаря сотрудничеству с TSMC, которая в короткий срок сумела стать крупнейшим контрактным производителем микрочипов в мире, ASML на стыке веков сумела обогнать и Nikon, и Canon, и с тех пор она неизменно занимает первое место в фотолитографической табели о рангах.

Пластины с чипами производства TSMC. Изображение: pr.tsmc.com
Пластины с чипами производства TSMC. Изображение: pr.tsmc.com

Но в 2009 году произошло событие, повлиявшее на положение вещей во всей мировой электронике: Nikon и Canon, потратив многие миллиарды долларов, выбыли из гонки по созданию мегасложного фотолитографа экстремального ультрафиолета (EUV). Так что, начиная с 2010 года (создание первой предсерийной EUV машины), голландцы безраздельно контролируют мировое производство ультрапередовых чипов. Без их техники «систему на кристалле» современного смартфона или ускоритель искусственного интеллекта попросту не сделать. Если, конечно, речь идёт о массовом производстве с высоким уровнем выхода годных чипов.

Так что альтернативы EUV фотолитографам ASML у TSMC попросту нет. А вот голландцам и помимо TSMC есть кому поставлять свои машины. Неслучайно первая предсерийная EUV установка в 2010 году была отправлена не на Тайвань, а в исследовательское подразделение южнокорейской Samsung Electronics. Да и выпуск самых первых в мире микросхем на EUV фотолитографах в 2019 году развернул также Samsung Electronics (7 нм мобильный процессор Exynos 9825).

Сканер ASML NXE: 3400 с низкой числовой апертурой. Изображение: ©ASML
Сканер ASML NXE: 3400 с низкой числовой апертурой. Изображение: ©ASML

Или вот из недавнего: первый ультрапередовой сканер ASML с высокой числовой апертурой, позволяющий экспонировать 2 нм узоры интегральных схем за один проход, в 2023 году был отправлен не в Азию, а в Северную Америку, в США, штат Орегон, на одну из фабрик Intel. И очень похоже, что первыми в мире выпуск чипов на станке стоимостью около полумиллиарда долларов развернут именно американцы.

В общем, в наши дни представители TSMC в надеже получить заветные EUV машины, ожидают в приёмных ASML в нидерландском Вельдховене cвоей очереди на общих основаниях, вместе с американскими Micron Technology и Intel, южнокорейскими Samsung и SK Hynix, а также новым игроком в области производства передовых микросхем, японским Rapidus. И судя по всему, такое положение вещей в мировой полупроводниковой индустрии сохранится очень надолго.

Что делать с EUV фотолитографом? Читайте статью в премиум-разделе канала «Фотолитограф»: