В Зеленограде, историческом центре советской микроэлектроники, работает предприятие, которое одновременно производит микросхемы, корпусирует кристаллы, разрабатывает собственное литографическое оборудование и выращивает технологические стартапы. ЗНТЦ — один из немногих российских центров, где полупроводниковая компетенция существует не на бумаге, а в металле и кремнии.
16 лет работы
Зеленоградский нанотехнологический центр основан в 2010 году в структуре группы «Роснано». За полтора десятилетия компания прошла путь от исследовательской площадки до производственного комплекса с несколькими уникальными для страны компетенциями.
Хронология ключевых результатов говорит сама за себя:
- 2021 год — освоена технология 3D-сборки микросхем;
- 2023 год — завершена разработка первого отечественного мультиплексора;
- 2025 год — начаты продажи первого российского фотолитографа с разрешением 350 нм, прошедшего государственную комиссию;
- 2026 год — введён в эксплуатацию новый сборочно-испытательный комплекс площадью свыше 1 200 кв. метров.
За разработку первого отечественного фотолитографа с разрешением 350 нм ЗНТЦ получил главный приз премии «ТехноХод-2025» в номинации «Техносуверенитет».
Первый российский литограф: что это такое и зачем он нужен
Фотолитограф — сердце любого производства микросхем. Именно этот агрегат переносит рисунок схемы на полупроводниковую пластину. До недавнего времени все подобные установки в России были импортными.
Весной 2025 года создание фотолитографа с разрешением 350 нм было завершено, и началась адаптация технологических процессов к особенностям производства конечного потребителя. Первый покупатель уже найден — соглашение о поставке подписано, параллельно ЗНТЦ заключил договор с входящим в ГК «Элемент» АО «НЗПП Восток» для отработки технологии серийного производства фотонных интегральных схем на этом оборудовании.
Дорожная карта развития литографического направления выстроена на годы вперёд:
- 2027 год — запуск производства установки проекционного экспонирования с разрешением 130 нм;
- в разработке — установка электронно-лучевой литографии с разрешением 150 нм;
- в разработке — установка контроля дефектности поверхности пластин с обнаружительной способностью 45 нм;
- начата разработка кластерной линии фотолитографии для субмикронной DUV-литографии при обработке пластин диаметром 200 мм.
Корпусирование: 200 000 микросхем в месяц
В январе 2026 года ЗНТЦ ввёл в эксплуатацию новый сборочно-испытательный комплекс. Мощность — до 200 000 микросхем в месяц с перспективой масштабирования до 500 000 и выше при росте спроса.
Ключевое — не цифра, а перечень доступных технологий корпусирования:
- PBGA, FC-BGA, HFCBGA — многовыводные полимерные корпуса для высокопроизводительных микросхем;
- flip-chip — технология монтажа кристаллом вниз с числом выводов до 26 000 штук;
- корпусирование силовой и СВЧ-электроники, в том числе на нитриде галлия на кремнии;
- размер кристалла — от 5×5 до 25×25 мм.
Выход годных на сборочном производстве — не менее 90%. Минимальная партия — 20 штук, что делает комплекс доступным и для стартапов, и для крупных заказчиков. Среди постоянных партнёров — «Цифровые Решения», «ЭЛВИС», «МЦСТ», «НИИМА «Прогресс», «Байкал Электроникс».
Чиплеты — следующий рубеж
Совместно с «НИИМА «Прогресс» ЗНТЦ ведёт работы по освоению чиплетной технологии. В ближайшей перспективе будет создана многокристальная сборка из пяти кристаллов, объединённых на одном кремниевом интерпозере. Это первый шаг к российским чиплетным решениям — архитектуре, которая позволяет объединять несколько специализированных кристаллов в одном корпусе вместо создания сложной монолитной микросхемы.
Материалы: курс на отечественное
Большинство расходных материалов на производстве ЗНТЦ — российского происхождения. Зарубежные аналоги применяются только там, где отечественной замены пока нет: часть химических реактивов, проявитель, фоторезист. По фоторезисту ведётся активная работа — апробация отечественных образцов на производственной площадке уже запланирована.
Стартапы и кадры: экосистема вместо разовых найм
С 2011 года ЗНТЦ поддержал свыше 40 технологических стартапов и создал более 120 высокотехнологичных рабочих мест. В 2023 году совместно с НИУ МИЭТ запущена университетская стартап-студия в рамках федеральной программы «Платформа университетского технологического предпринимательства».
Кадровую проблему центр решает через прямое участие в формировании учебных программ. По инициативе ЗНТЦ в НИУ МИЭТ разработана программа «Разработка и производство элементов интегральной фотоники». Центр выступает индустриальным партнёром Передовой инженерной школы МИЭТ, где готовят конструкторов технологического оборудования, инженеров-технологов и разработчиков САПР.
ЗНТЦ также выступил инициатором создания научно-производственного консорциума «ЗЕЛМАШ», объединившего российские предприятия и научные институты — НИУ МИЭТ, АО «Завод ПРОТОН», АО «ЗИТЦ», АО «НПП «ЭСТО», АО «НИИПМ», АО «РЕТИКЛ».
Почему ЗНТЦ сохранит заказчиков даже без санкций
Генеральный директор Анатолий Ковалёв уверен: если завтра снять все ограничения и открыть свободный доступ к корпусированию в Китае и Юго-Восточной Азии — клиенты не уйдут. Аргументы: перенос производства на другую фабрику требует повторной наладки оборудования и адаптации технологий, что стоит денег и времени. Гибкость в работе с мелкими сериями, уникальные технологии корпусирования высокопроизводительных микросхем и индивидуальный подход удерживают заказчиков вне зависимости от геополитической конъюнктуры.
ЗНТЦ — редкий пример российского предприятия, где слова о технологическом суверенитете подкреплены конкретными установками, реальными заказами и собственным оборудованием. До полной независимости в литографии ещё далеко, но направление выбрано верно — и движение по нему идёт.