В России завершились испытания нового отечественного лазерного микроскопа с разрешением 0,1 нм по вертикали. Его можно использовать как в медицине, например, в онкологии, так и в производстве для контроля качества интегральных микросхем. Прибор способен оценивать качество топологии и фиксирует малейшие дефекты в слоях, неровности дорожек, посторонние включения.
Появление лазерного микроскопа с вертикальным разрешением 0,1 нм, безусловно, заслуживает внимания как пример доведенного до практического применения высокоточного оптического прибора, считает инженер-разработчик компании «Активная Фотоника» Александр Агликов. «Для российской фотоники и приборостроения сам факт появления такого комплекса, прошедшего длительную апробацию в реальной клинической среде, - значимое событие», - отметил он.
Он пояснил, что вертикальное разрешение 0,1 нм позволяет «видеть» изменения рельефа или оптического сигнала по вертикали. «Это очень важный параметр, однако он не тождественен латеральному разрешению и не означает возможности оптически различать структуры масштаба 0,1 нм в плоскости», - уточнил Агликов.
Для полноценного контроля критических размеров топологии, совмещения слоев и ряда параметров субмикронных структур требуется наличие целого комплекса метрологических характеристик прибора: латерального разрешения, повторяемости, точности калибровки, устойчивости к вибрациям, скорости съема данных и корректности работы на сложном рельефе.
Прошедший испытания лазерный микроскоп может служить для контроля поверхности, оценки рельефа, планарности, шероховатости, высоты ступеней и ряда дефектов технологического процесса. «Это особенно актуально в условиях ограниченного доступа к зарубежному метрологическому оборудованию», - добавил Александр.
Он отметил, что сочетание медицинского и индустриального применения в одном классе приборов – это технологически интересное решение. Ведь такие разные сценарии эксплуатации предъявляют собственные требования к верификации результатов, программной обработке данных и методикам измерений.
«В целом мы оцениваем эту новость как позитивный сигнал для отечественной оптики, фотоники и высокоточного приборостроения», - поздравил коллег из «Ростеха» Александр Агликов.