Российские ученые разработали и подготовили к серийному производству принтер сухой аэрозольной печати, который позволяет быстро и относительно дешево изготавливать компоненты микроэлектроники из наночастиц без использования растворителей, жидких чернил и связующих веществ. Об этом, как пишет ТАСС, сообщили в Центре научной коммуникации МФТИ.
Новая технология предназначена для создания пассивных элементов микроэлектроники, микродатчиков и каталитических структур. Главное преимущество подхода, по словам разработчиков, — отсутствие загрязнений, которые обычно возникают при печати с использованием жидких чернил и могут ухудшать свойства конечного устройства.
В отличие от традиционной фотолитографии, новый метод не требует дорогих чистых комнат, вакуумных установок и агрессивной химии, а также снижает расход материалов. Это может заметно удешевить производство электроники в будущем.
Принцип работы принтера основан на формировании наночастиц прямо в процессе печати с помощью электрического газового разряда. Затем частицы направляются на подложку сфокусированным аэрозольным пучком. Исследователям удалось подобрать режимы, при которых наночастицы не слипаются, а образуют структуры нужного размера и формы, после чего могут быть спечены лазером.
По словам ученых, устройство создает наночастицы размером 5–15 нанометров, которые затем используются для формирования дорожек и других элементов чипов. Первые испытания показали, что полученные таким способом проводники по характеристикам сопоставимы с кристаллами серебра, что делает технологию перспективной для широкого круга задач.
Кроме того, метод позволяет создавать наноантенны, сенсоры, пористые материалы для газовых датчиков и индуктивные элементы. Созданный в МФТИ принтер уже прошел государственные приемочные испытания и готовится к запуску в серийное производство.