НИИТМ и НИИМЭ создают установку для напыления алюминия на пластины диаметром 200 мм
Российские инженеры начали разработку первого отечественного кластерного оборудования для напыления металла. За проект взялись НИИТМ и НИИМЭ, которые входят в группу «Элемент». Машина получит 8 модулей и позволит выпускать микросхемы с топологией от 90 до 180 нанометров. Диаметр пластин составит 200 миллиметров. Это серьёзный шаг для всей микроэлектроники страны.
Финансирование идёт через Минпромторг по программе развития электронного машиностроения. Работы закончат к сентябрю 2030 года. Всё оборудование проектируют с учётом возможности будущей модернизации.
Главная особенность системы — транспортная схема. Она включает два распределительных блока и буферную камеру. Решение помогает сохранять глубокий вакуум и улучшает качество плёнок. Внутри комплекса будут работать два робота-манипулятора для ускорения процессов. Модульная сборка даёт возможность перенастраивать линию под новые задачи или менять части оборудования без остановки всего производства. Часть модулей дублируется, что обеспечит работу даже во время ремонта.
Специалисты НИИТМ будут разрабатывать конструкторскую документацию, создавать макеты ключевых узлов, изготавливать опытный образец установки и проводить предварительные испытания. Руководитель НИИМЭ Александр Кравцов рассчитывает, что готовая установка заинтересует заводы не только внутри страны, но и за её пределами. Специалисты уверены, что проект закроет важные потребности рынка.