Томские ученые завершили разработку и создание установки для производства высокочистого бромида водорода (HBr) чистотой 5N. Первые 100 килограммов российского бромида водорода высокой чистоты для микроэлектроники будут поставлены на российские предприятия в первом полугодии 2026 года.
Проект выполнили Инжиниринговый химико-технологический центр совместно с Национальным исследовательским Томским государственным университетом по заказу министерства промышленности и торговли Российской Федерации. Установка с годовой производительностью до 650 килограммов конечного продукта размещена в Томске на опытно-промышленной площадке ИХТЦ при ТГУ и готова к запуску. Общий объем финансирования проекта составил 260,5 миллиона рублей. ИХТЦ – единственный в России производитель этого стратегически важного вещества.
Ключевые предприятия-потребители подтвердили планы по переходу с импортного HBr, в первую очередь китайского производства, на российское сырье с 2026 года. Ведутся переговоры по заключению рамочных договоров. Уже подтвержден заказ на первые 100 килограммов продукции в первом полугодии 2026 года.
В микроэлектронике сверхчистый бромистый водород (HBr) применяется главным образом как технологический газ для плазмохимического (RIE/ICP) травления кремния, поликремния и родственных материалов, обеспечивая высокую анизотропию и точное формирование субмикронных структур. Высокая чистота HBr критична для снижения дефектности и предотвращения паразитного загрязнения, что повышает выход годных при производстве современных интегральных схем, включая современные микросхемы, в том числе для банковских и транспортных карт.