Эксперты называют проект сложнейшим: точность измерений требуется нанометровая
Зеленоградский завод «Микрон» получит 1,56 млрд рублей на разработку установки для измерения рассовмещения топологических слоёв на кремниевых пластинах — оборудование необходимо для производства микросхем. Заказчиком выступил Минпромторг. Шифр проекта — «Лучник», что в переводе на русский полностью совпадает с названием американского аналога ARCHER 10 XT от KLA TENCOR, который предстоит заместить, сообщает CNews.
Согласно техзаданию, новая установка должна автоматически измерять рассовмещение слоёв на пластинах диаметром до 200 мм с проектными нормами до 130 нм. Производительность — не менее 75 пластин в час. Работы должны быть завершены до 31 июля 2029 года. эксперты сходятся во мнении, что сроки разработки выбраны очень жёстко. Чтобы успеть до 2029 года, необходима готовая научная база и безупречная работа с поставками компонентов.
Американская установка ARCHER — это высокоточный контролёр на производстве микросхем. При создании чипов на кремниевую пластину слоями наносят рисунки будущих транзисторов, и каждый новый слой должен идеально совпадать с предыдущим — даже смещение в несколько нанометров (в тысячи раз тоньше волоса) делает чип бракованным. ARCHER с помощью оптики и интерферометра сканирует пластину, находит специальные метки совмещения и проверяет, не сдвинулись ли слои. Если есть ошибка, установка выдаёт данные для коррекции процесса на следующем этапе. Проще говоря, это «микроскоп-контролёр», который следит за точностью наложения слоёв при производстве микросхем.