Ученые Новосибирского государственного университета на конференции-семинаре представили проектное видение отечественного рентгеновского литографа «Орел-7». Об этом сообщили в пресс-службе НГУ.
Установку мирового уровня предлагают создать как элемент инфраструктуры Центра коллективного пользования «Сибирский кольцевой источник фотонов» (СКИФ). Над проектом работает группа ученых Центра искусственного интеллекта НГУ, Института физики полупроводников СО РАН и Института вычислительной математики и математической геофизики СО РАН.
Рентгеновская литография позволяет формировать сверхминиатюрные структуры на полупроводниковых пластинах. В отличие от современных технологий, она не требует преодоления дифракционного предела, что дает более высокое разрешение при сохранении производительности и может оказаться дешевле существующих аналогов.
Реализация проекта позволит отечественной промышленности выйти далеко за технологический предел в 28 нанометров. Это критически важно для создания суверенной технологии производства российских процессоров топ-уровня.
Опытный образец литографа планируют создать на базе СКИФ, где можно будет изучить физику процессов и отработать технологические параметры. Проект уже вызвал интерес у научных центров Москвы, Новосибирска и Минска.