Производительность литографа «Прогресс СТП-350» — 63 пластины в час
Стала известна цена российского литографа «Прогресс СТП-350». Базовая версия установки оценивается менее чем в 392 млн рублей. Однако при выборе расширенного обслуживания итоговая сумма возрастает.
Срок изготовления и поставки оборудования — 18 месяцев со дня оплаты аванса, причём размер аванса составляет 50% от стоимости литографа. При выборе расширенного обслуживания и дополнительной пятилетней гарантии цена повышается до 561 млн рублей.
Литограф «Прогресс СТП-350» создан для обработки кремниевых пластин диаметром 150 и 200 мм. Производительность установки — 63 пластин в час для формата 150 мм и 43 пластины в час для 200 мм. Рабочая длина волны — 365 нм.
Разработка установки велась совместно с белорусским предприятием «Планар» в рамках проектов Минпромторга, и была завершена весной 2025 года. В настоящее время производитель также работает над следующим поколением оборудования, рассчитанным на техпроцесс 130 нм.
Для сравнения, литографы ASML для техпроцесса 130 нм, обрабатывающие до 180 пластин в час, стоят порядка 15 млн долларов. Оборудование Nikon оценивается в 12 млн долларов при производительности до 150 пластин в час, а решения Canon — около 10 млн долларов при скорости до 140 пластин в час. Китайская SMEE предлагает литографы за 8 млн долларов с производительностью около 120 пластин в час.
Ранее www1.ru сообщал, что уникальный литограф разработали в МФТИ.