Золотые времена американской полупроводниковой фотолитографии. Имя Tropel практически неразрывно связано с одним из наиболее ярких имён в области мировой полупроводниковой фотолитографии: американской корпорацией GCA/David W. Mann. Именно этой американской корпорации в 1977 году первой в мире удалось выпустить степпер, фотолитографическую машину, позволившую принципиально улучшить контрастность изображения, числовую апертуру и точность системы по сравнению с господствовавшими тогда установками проекционного совмещения и контактными фотолитографами. Если в установках проекционного совмещения за один сеанс экспонировалась вся пластина целиком (в масштабе 1:1), и то же самое происходило в случае с контактными фотолитографами (фотошаблон попросту накладывался на пластину), то в степпере всё стало гораздо сложнее. В этих машинах используется метод масштабной проекции, когда изображение фотошаблона с помощью оптической линзы (стопки линз = оптической колонны) многократно уменьшается, так что
Публикация доступна с подпиской
ПремиумПремиум