Cтепперы PAS 2500 g-line и i-line: первые серьёзные успехи. 21 мая 1986 года — первый день работы выставки SEMICON West, проходившей в калифорнийском Сан-Матео. Капитаны мировой полупроводниковой промышленности о новой голландской компании уже знают, однако всё ещё относятся к ней с недоверием. В центре всеобщего внимания — безусловные лидеры тех лет, японские передовики Nikon и Canon. Однако новый степпер ASML PAS 2500/10, хотя по-прежнему является машиной g-line (использует ртутную лампу в качестве источника излучения синего цвета с длиной волны 436 нанометров), в отличие от своего прошлогоднего предшественника, PAS 2400, уже оснащён передовой оптикой немецкого Carl Zeiss с полем экспозиции14х14 мм (в отличие от оптики французской CERCO, обеспечивавшей степперу PAS 2400 поле экспозиции всего 10х10мм). К тому же многие отраслевые эксперты отметили великолепную юстировку (настройку оптической системы) голландской машины. Не менее важно, что ASML не просто демонстрировала новую технику
Публикация доступна с подпиской
ПремиумПремиум