Без этого оборудования фотолитографы ASML просто заготовки. Мы с большим пиететом относимся к EUV (экстремальный ультрафиолет) фотолитографам. И есть за что: в конце концов самые сложные машины, созданные человеком, заслуживают именно такого отношения. Ведь множество слоёв самых современные микросхем, изготавливаемые по техпроцессам 5, 4, 3, 2 (условных) нанометра, печатаются именно на EUV фотолитографах. Но причём здесь Австрия? Ведь предприятия этой страны, как впрочем и всех прочих европейских стран, за исключением мирового монополиста, нидерландской ASML, в производстве подобной техники замечены не были. Чтобы найти ответ на этот вопрос, нужно принять во внимание то, что обычно находится не на виду: комплект фотошаблонов. Представим на минутку, что его в фотолитограф не установили. Тогда пользы от самой сложной машины в истории человечества будет не больше, чем от видеомагнитофона, в который не вставили кассету с фильмом. Как известно, оптическая система EUV фотолитографа представ
Публикация доступна с подпиской
ПремиумПремиум