Оборудование, без которого не может обойтись практически ни один этап полупроводникового производства. Пожалуй, самое распространённое оборудование на полупроводниковых фабриках — это оборудование для очистки пластин. И ведь действительно, мало провести экспонирование пластин или процедуру травления, необходимо обеспечить, чтобы к следующему этапу обработки пластина переходила в чистом состоянии. Поэтому машины очистки встречаются на таких производствах буквально на каждом шагу. А принимая во внимание нанометровые размеры элементов современных микрочипов, стандарты этой чистоты тоже очень высоки. Что произойдёт, если микроскопические частицы загрязнений всё же прилипнут к поверхности пластин? Образуются дефекты и, как результат, произойдёт снижение процента выхода годных пластин. Поэтому за чистоту производства на фабриках идёт самая настоящая борьба. Дело усугубляется тем, что современный чип имеет многослойную структуру. Логическая микросхема обычно состоит из десятков слоёв, а чип
Публикация доступна с подпиской
ПремиумПремиум