Вакуумная установка способна обрабатывать кремниевые пластины диаметром до 300 миллиметров и создавать электронные компоненты с проектными нормами до 65 нанометров В Минпромторге сообщили о создании в России первого отечественного оборудования для производства микрочипов. Как подчеркнули в ведомстве, это является значительным шагом к развитию полного цикла изготовления микроэлектроники в стране. Там отметили ключевую особенность — заготовки для чипов обрабатываются в вакууме, передает MFD.ru. Сообщается, что разработали технологию АО «НИИМЭ» совместно с АО «НИИТМ». Они создали первые отечественные кластерные установки плазмохимического травления и осаждения, предназначенные для производства электронных компонентов с проектными нормами до 65 нанометров. В министерстве пояснили, что такое оборудование способно обрабатывать кремниевые пластины диаметром до 300 миллиметров, выполняя высокоточные операции.
Минпромторг сообщил о первом отечественном оборудовании для производства микрочипов
10 декабря 202510 дек 2025
502
~1 мин