Китайцы показали настольный EUV-источник. Hefei Lumiverse вывела на рынок компактную установку на базе генерации высоких гармоник, и её уже задействуют при выпуске 14-нм чипов. Вместо гигантских и дорогих систем ASML — коробка лабораторного формата, в сотни раз дешевле и без экспортных ограничений.
Система работает на фемтосекундном лазере, который «бьёт» по инертному газу и выбивает из него когерентное EUV-излучение с длиной волны 13,5 нм. Теоретически длина волны может настраиваться в диапазоне от 1 до 200 нм, что делает технологию гибкой, хотя мощность остаётся крайне низкой — всего около 1 мкВт, на порядки слабее твердотельных установок с оловянными мишенями. Компенсация — сверхмалое световое пятно, позволяющее набрать требуемую плотность энергии, пусть и ценой производительности.
Пока такая система годится для опытных линий и аккуратного контроля качества. Неудивительно, что 80 % заказчиков — исследователи, экспериментирующие с нанометровыми транзисторами. Но у Lumiverse есть план: довести мощность до 1 мВт и выйти на рынок коммерческой метрологии.
