Немцы или американцы? Ответ на этот вопрос не столь очевиден. Кто является поставщиком источника излучения для фотолитографов экстремального ультрафиолета голландской ASML? Напрашивается ответ: немецкий специалист в области лазерной техники Trumpf. И действительно, мы буквально отовсюду слышим, что два основных модуля для EUV литографов: оптическую систему и лазерный источник излучения голландскому агрегатору поставляют немецкие передовики Carl Zeiss и Trumpf. И если в случае с Zeiss это действительно так, то в случае с Trumpf история куда сложнее. Как вообще получается EUV свет экстремального ультрафиолета с длиной волны 13,5 нм? Генератор оловянных капель выбрасывает 50 тысяч таких капель в секунду в вакуумную камеру, где мощный импульсный лазер «атакует» эти капли, превращая их в плазму. Таким образом создаётся EUV свет, который с помощью зеркал оптической системы собирается и направляется на полупроводниковые пластины для экспонирования. Изначально источником лазерного луча являетс
Публикация доступна с подпиской
ПремиумПремиум