CERCO: забытый герой оптики для фотолитографии. Кто является эксклюзивным поставщиком оптических систем для мирового лидера в производстве фотолитографических машин ASML? Конечно это немецкий Carl Zeiss. Широко известен фирменный голландско-немецкий лозунг «Две компании — один бизнес». Кажется, что так было всегда. Тем более, что в 2017 году ASML приобрела почти четверть Carl Zeiss SMT (Semiconductor Manufacturing Technology), полупроводникового подразделения группы Carl Zeiss AG. Но на самом деле Carl Zeiss поначалу и слышать не хотел о сотрудничестве с никому не известной голландской компанией, созданной только в 1984 году. Тем более, что голландцы с самого начала отличались повышенной требовательностью к качеству исполнения заказываемой оптики. Так что в первом фотолитографе ASML, cтеппере PAS 2400, представленном в 1985 году на выставке SEMICON West в американской Калифорнии, была установлена отнюдь не оптическая система Carl Zeiss: там находилась оптическая колонна, произведённая
Публикация доступна с подпиской
ПремиумПремиум