Метод основан на регистрации энергии характеристических рентгеновских фотонов, испускаемых атомами при релаксации после возбуждения первичным излучением. Детектор (обычно Si-PIN или SDD) преобразует энергию каждого фотона в электрический импульс, формируя энергоразрешённый спектр.
- Разрешающая способность: 125–160 эВ (для линий Mn-Kα)
- Пределы обнаружения: от 1–10 ppm для тяжёлых элементов
- Рабочий диапазон элементов: от Na до U (практически — Mg–U)
Преимуществом является высокая скорость анализа, простота эксплуатации и возможность портативного исполнения. ВДРФА использует дифракцию характеристического излучения на кристалле (закон Брэгга: nλ = 2d sinθ). Каждая длина волны измеряется последовательно с помощью сканирующего гониометра и анализирующего кристалла (LiF, PET, Ge и др.).
- Разрешающая способность: 10–20 эВ
- Пределы обнаружения: до 0.1–1 ppm
- Рабочий диапазон элементов: от B до U
Метод обеспечивает высочайшую спектральную разрешающую способность и стабильность резуль