Ученые из ИХТЦ ТГУ впервые в стране выпустили первую партию дигидрата тартрата натрия для микроэлектроники. Производительность установки – несколько сотен килограммов вещества в год. Вложения в проект оцениваются в 150 млн рублей. Дигидрат тартрата натрия играет важную роль на одном из самых точных и ответственных этапов производства – химико-механической планаризации (ХМП или CMP). Современные микропроцессоры и чипы памяти состоят из множества слоев, соединенных между собой микроскопическими медными проводниками. После нанесения меди на пластину ее поверхность становится неровной. Задача ХМП – убрать излишки меди и выровнять поверхность до идеальной гладкости. После чего наносится следующий слой. Вот тут дигидрат тартрата натрия и играет ключевую роль – полирующей суспензии для меди. В условиях импортозамещения и курса на технологическую независимость в 2024 году началась разработка собственной методики синтеза натрия тартрата дигидрата. Драйвером послужило прекращение его зарубежных
Шаг к независимости: в России запустили первое производство важного реактива для микроэлектроники
22 сентября 202522 сен 2025
1561
2 мин