Мы как-то обсуждали здесь понятие «разрешения». Это то расстояние, на котором две соседние точки изображения не сливаются в одну для наблюдателя.
Разрешение зависит от того, какими электромагнитными волнами мы «поливаем» рассматриваемый объект. Если длина волны сопоставима с расстоянием между двумя точками это и будет пределом разрешающей способности.
Отсюда делаем простой вывод: хотим увидеть более мелкие штуковины, атомы и вот это вот всё, нужно брать электромагнитные волны с короткой длиной. А кто у нас есть такой хитренький, который сразу и частица, и короткая волна? Да это ж электрон!
Идея использовать электроны вместо видимого света для получения изображения с очень высоким разрешением бродила по буйным головам физиков уже с начала 20-го века. В 1931 г. два немецких инженера-физика: Эрнст Руска и Макс Кнолль собрались, да и построили первую колонну электронного микроскопа.
Следующие несколько лет электронная микроскопия была уделом энтузиастов и отдельных научных групп. Однако ее возможности были впечатляющими: полезное увеличение в десятки тысяч раз, разрешение порядка 500 ангстрем или 0,05 мкм, что просто неслыханно для того времени и недостижимо для оптического микроскопа.
Чувствуя гешефты, немецкая компания Siemens подсуетилась и в конце 30-х годов запустила коммерческое производство электронных микроскопов. Однако на тот момент они стоили очень дорого и таких колонн по всему миру было раз-два и обчелся. Примерно с 1960-х гг. электронная микроскопия стала распространенным и незаменимым методом научных исследований.
Сам Эрнст Руска уже глубоким стариком за свое изобретение получил в 1986 г. Нобелевскую премию. Макс Кнолль до вручения не дожил.