Простая доработка обеспечивает равномерное нанесение металлических слоёв
Ученые Новгородского государственного университета имени Ярослава Мудрого модернизировали установку вакуумного напыления, используемую для производства деталей микро- и наноэлектроники. Ранее оборудование наносило тонкие резистивные и металлические слои неравномерно, что приводило к браку изделий.
В рамках проекта специалисты создали специальную заслонку с отверстием, которая равномерно распределяет материал на подложке и не требует разборки установки. Новый подход оказался дешевле полной замены оборудования — модернизация стоила 15 млн рублей вместо 50 млн.
Один из авторов проекта Дмитрий Корцов объяснил принцип работы аналогией с трафаретом для украшения кекса: «Кексом» выступает подложка изделия, «пудрой с примесями» — резистивный материал, а «ситом» — магнетрон.
Разработка позволяет повысить качество продукции и экономить средства завода, сохраняя целостность оборудования. Это важно для предприятий микро- и наноэлектроники, где точность нанесения слоев напрямую влияет на надежность и функциональность готовых изделий.
Читайте еще материалы:
В России впервые начали производить сверхгабаритное архитектурное стекло – с магнетронным напылением
Вертолёты Ми-28НМ оснастили ваккумными ракетами С-13ДФ: пробьют метр бетона
В России впервые начали производить сверхгабаритное архитектурное стекло – с магнетронным напылением