Мы запускаем совместную с «Наукой и инновациями» рубрику о реализованных проектах из Единого отраслевого тематического плана (ЕОТП). Этот механизм финансирования научно-исследовательских работ появился в 2019 году. Одно из крупных достижений в его рамках — не имеющая аналогов в России технология выращивания крупногабаритных монокристаллов антимонида галлия с улучшенными свойствами.
Разработчик
Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности («Гиредмет», входит в химико-технологический кластер научного дивизиона).
Новизна
Монокристаллы антимонида галлия диаметром 100 мм, полученные по оригинальной технологии, обладают уникальными электрофизическими и структурными свойствами. Полированные пластины из этих монокристаллов являются подложечным материалом для линейных и матричных инфракрасных фотоприемников на длину волны 1,5–2,5 мкм. Приборы на основе антимонида галлия обладают хорошими оптическими характеристиками и обнаружительной способностью и устойчивы к внешним воздействиям.
Срок реализации
Проект длился три года. За первый год была разработана конструкторская документация на экспериментальный стенд для выращивания монокристаллов и на шлифовально-полировальный экспериментальный стенд для получения пластин.
За второй год эти стенды были изготовлены и апробированы. Исследования полученных на них экспериментальных образцов монокристаллов и полированных пластин подтвердили все ожидаемые электрофизические свойства и геометрические параметры.
За третий год была разработана комплексная технология от выращивания монокристаллов антимонида галлия двух номиналов (стандартного диаметра 50,8 мм и увеличенного — 100 мм) до получения полированных пластин в герметичной упаковке. Технологический маршрут отработан на новом оборудовании, в том числе смонтированном в чистой зоне «Гиредмета». Готов полный комплект технологической документации, включая технические условия и технологические инструкции, на все этапы производства: процессы выращивания, последующую механическую и химико-механическую обработку и т. п.
Полный материал читайте в «Стране Росатом». https://clck.ru/3NQqG8