Компания «Оптические технологии» из Новосибирска представила первый в России 257-нм ультрафиолетовый лазер, предназначенный для фотолитографических процессов в производстве микросхем. Разработка ориентирована на импортозамещение лазерных систем американской компании Coherent и, по словам создателей, не имеет аналогов на отечественном рынке.
Прорыв в лазерной литографии
Новосибирский лазер предназначен для создания фотошаблонов — ключевого компонента в процессе лазерной литографии, где с его помощью на кремниевую подложку наносятся элементы микросхемной структуры. На сегодняшний день основными поставщиками таких систем остаются зарубежные компании, среди которых — американская Coherent, устройства которой до недавнего времени активно использовались в России.
Однако с 2022 года доступ к подобной технике ограничен санкциями, и многие технологические цепочки оказались под угрозой. Новый российский УФ-лазер работает на длине волны 257 нм, что соответствует стандарту Coherent и обеспечивает совместимость с существующими фотолитографическими установками и фоторезисторами.
Технические особенности
Разработка представляет собой программно-аппаратный комплекс, включающий:
- лазерный источник мощностью 10–30 мВт;
- волоконный усилитель, увеличивающий выходную мощность до 15 Вт;
- нелинейный кристалл для преобразования частоты лазерного излучения.
По данным разработчиков, система отличается высокой энергоэффективностью: её энергопотребление не превышает 1 Вт, что сравнимо с половиной мощности бытового электрочайника. Это снижает эксплуатационные расходы и повышает энергетическую эффективность всего литографического процесса.
Альтернатива Coherent на фоне глобальных изменений
Лазеры Coherent активно применяются в фотолитографии по всему миру, но в последние годы компания столкнулась с серьёзными трудностями. В 2024 году Apple прекратила сотрудничество с Coherent, что привело к закрытию одного из её европейских заводов в Великобритании. Это открывает окно возможностей для появления локальных решений, особенно в странах с ограниченным доступом к западным технологиям.
Российская система была создана с учётом полной совместимости с экосистемой Coherent, включая чувствительные фоторезисты, оптимизированные под длину волны 257 нм.
«Мы фактически заменяем лазеры Coherent, под которые уже заточено всё оборудование. У нас сейчас нет других аналогов в стране», — сообщил представитель компании.
Испытания и перспективы
На конец мая 2025 года разработка находилась на стадии тестирования — в распоряжении компании был один предсерийный прототип. Испытания проводятся на предприятии «Планар» в Белоруссии — одном из ключевых партнёров в сфере электронной промышленности на постсоветском пространстве.
Сроки запуска серийного производства не объявлены. Однако учитывая стратегическую важность технологии, проект может получить поддержку со стороны государственных инициатив по технологическому суверенитету.
Источник: https://www.cnews.ru/news/top/2025-05-27_razrabotan_unikalnyj_otechestvennyj
Больше интересного – на медиапортале https://www.cta.ru/