Россия заменит китайское оборудование для выпуска микроэлектроники на отечественное

Разработкой займётся Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики

Речь идёт о замещении импортных установок для отмывки и сушки SMIF-контейнеров для кремниевых пластин. За эту работу, на которую отводится два с половиной года, как пишет издание «CNews», российский Минпромторг готов заплатить исполнителям 476,8 млн рублей. В числе обязательных условий — отечественные комплектующие и материалы в установке.

Изображение сгенерировано нейросетью DALL•Е 3

SMIF-контейнеры служат для хранения и перемещения наборов полупроводниковых пластин между установками, сохраняя их повышенную чистоту. Таким контейнерам требуется для отмывки от загрязнений особая установка. Устройство, которое должен импортозаместить Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики, предназначена для групповой обработки SMIF-контейнеров и кассет для пластин диаметром 150 мм и 200 мм.

Как пояснили «CNews» в Минпромторге, сейчас такое оборудование закупается в Китае. Им пользуются лидеры производства отечественной микроэлектроники: «Микрон», «Исток им. Шокина», НИИС им. Седакова, НЗПП «Восток». При этом спрос на установки оценивается в объёме «не менее 10 единиц в перспективе 2030 года».

Читать материалы по теме:

В России разрабатываются единые стандарты для производителей микроэлектроники

Для мирного атома и автопрома: в России появился прототип новой установки для производства из карбида кремния

В Москве в два раза увеличили выпуск компьютеров, оптики и электроники